Формирование наноструктурированных слоев углерода на кремниевой подложке при использовании поливинилхлорида в качестве прекурсора углерода Full article
Journal |
Омский научный вестник
ISSN: 1813-8225 , E-ISSN: 2541-7541 |
||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|
Output data | Year: 2018, Volume: 162, Number: 6, Pages: 178-183 Pages count : 6 DOI: 10.25206/1813-8225-2018-162-178-183 | ||||||
Tags | наноструктурированные углеродные слои, поливинилхлорид, карбонизация поливиниленов, метод spin-coating, атомно-силовая микроскопия | ||||||
Authors |
|
||||||
Affiliations |
|
Abstract:
Получены углеродные слои путем низкотемпературного (200–400 С) термического превращения поливиниленов, нанесенных на кремниевые подложки методом spin-coating. Поливинилены получали дегидрохлорированием поливинилхлорида анилином в среде диметилсульфоксида. Для введения металла в состав углеродного слоя дегидрохлорирование полимера осуществляли в присутствии Fe(NO3)2. Методом атомно-силовой микроскопии исследованы морфологические особенности структуры сформированных слоев. Установлено, что углеродные слои без добавок металла являются макропористыми со сквозными порами субмикронных размеров. В присутствии железа образуются сплошные углеродные слои с металлсодержащими наночастицами, встроенными в углеродную матрицу. Полученные данные могут быть использованы при совершенствовании элементной базы устройств микроэлектроники.
Cite:
Кривозубов О.В.
, Кряжев Ю.Г.
, Аникеева И.В.
, Давлеткильдеев Н.А.
, Соколов Д.В.
, Лихолобов В.А.
Формирование наноструктурированных слоев углерода на кремниевой подложке при использовании поливинилхлорида в качестве прекурсора углерода
Омский научный вестник. 2018. Т.162. №6. С.178-183. DOI: 10.25206/1813-8225-2018-162-178-183 РИНЦ
Формирование наноструктурированных слоев углерода на кремниевой подложке при использовании поливинилхлорида в качестве прекурсора углерода
Омский научный вестник. 2018. Т.162. №6. С.178-183. DOI: 10.25206/1813-8225-2018-162-178-183 РИНЦ
Files:
Full text from publisher
Dates:
Submitted: | Nov 1, 2018 |
Identifiers:
Elibrary | 36721876 |
OpenAlex | W2905641779 |