Abstract: Получены углеродные слои путем низкотемпературного (200–400 С) термического превращения поливиниленов, нанесенных на кремниевые подложки методом spin-coating. Поливинилены получали дегидрохлорированием поливинилхлорида анилином в среде диметилсульфоксида. Для введения металла в состав углеродного слоя дегидрохлорирование полимера осуществляли в присутствии Fe(NO3)2. Методом атомно-силовой микроскопии исследованы морфологические особенности структуры сформированных слоев. Установлено, что углеродные слои без добавок металла являются макропористыми со сквозными порами субмикронных размеров. В присутствии железа образуются сплошные углеродные слои с металлсодержащими наночастицами, встроенными в углеродную матрицу. Полученные данные могут быть использованы при совершенствовании элементной базы устройств микроэлектроники.

Cite: Кривозубов О.В. , Кряжев Ю.Г. , Аникеева И.В. , Давлеткильдеев Н.А. , Соколов Д.В. , Лихолобов В.А.
Формирование наноструктурированных слоев углерода на кремниевой подложке при использовании поливинилхлорида в качестве прекурсора углерода
Омский научный вестник. 2018. Т.162. №6. С.178-183. DOI: 10.25206/1813-8225-2018-162-178-183 РИНЦ OpenAlex

Files: Full text from publisher

Dates:

Submitted:

Nov 1, 2018

Identifiers:

Elibrary:	36721876
OpenAlex:	W2905641779

Citing:

DB	Citing
Elibrary	1
OpenAlex	2

Altmetrics: