Формирование наноструктурированных слоев углерода на кремниевой подложке при использовании поливинилхлорида в качестве прекурсора углерода Научная публикация
Журнал |
Омский научный вестник
ISSN: 1813-8225 , E-ISSN: 2541-7541 |
||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|
Вых. Данные | Год: 2018, Том: 162, Номер: 6, Страницы: 178-183 Страниц : 6 DOI: 10.25206/1813-8225-2018-162-178-183 | ||||||
Ключевые слова | наноструктурированные углеродные слои, поливинилхлорид, карбонизация поливиниленов, метод spin-coating, атомно-силовая микроскопия | ||||||
Авторы |
|
||||||
Организации |
|
Реферат:
Получены углеродные слои путем низкотемпературного (200–400 С) термического превращения поливиниленов, нанесенных на кремниевые подложки методом spin-coating. Поливинилены получали дегидрохлорированием поливинилхлорида анилином в среде диметилсульфоксида. Для введения металла в состав углеродного слоя дегидрохлорирование полимера осуществляли в присутствии Fe(NO3)2. Методом атомно-силовой микроскопии исследованы морфологические особенности структуры сформированных слоев. Установлено, что углеродные слои без добавок металла являются макропористыми со сквозными порами субмикронных размеров. В присутствии железа образуются сплошные углеродные слои с металлсодержащими наночастицами, встроенными в углеродную матрицу. Полученные данные могут быть использованы при совершенствовании элементной базы устройств микроэлектроники.
Библиографическая ссылка:
Кривозубов О.В.
, Кряжев Ю.Г.
, Аникеева И.В.
, Давлеткильдеев Н.А.
, Соколов Д.В.
, Лихолобов В.А.
Формирование наноструктурированных слоев углерода на кремниевой подложке при использовании поливинилхлорида в качестве прекурсора углерода
Омский научный вестник. 2018.
Т.162. №6. С.178-183. DOI: 10.25206/1813-8225-2018-162-178-183
РИНЦ
OpenAlex
Формирование наноструктурированных слоев углерода на кремниевой подложке при использовании поливинилхлорида в качестве прекурсора углерода

Файлы:
Полный текст от издателя
Даты:
Поступила в редакцию: | 1 нояб. 2018 г. |
Идентификаторы БД:
РИНЦ: | 36721876 |
OpenAlex: | W2905641779 |